核能電廠利用高溫高壓的水，自爐心移出核分裂所產生的熱能。在高溫的狀況下，水會對構成反應器系統的金屬材料產生侵蝕與腐蝕的作用。自金屬材料釋出之腐蝕產物，隨著冷卻水進入反應器的爐心。腐蝕產物有可能與爐心內的中子碰撞，吸收中子，成為放射性物質，這些放射性物質又被稱為活化產物。為維持良好水質，放射性腐蝕產物必須利用淨化系統予以移除。淨化系統所過濾出的殘渣，所使用的樹脂，及用來清洗淨化系統的廢水即成為溼性低階放射性廢料。（如圖一所示）

　　放射性腐蝕產物在隨著冷卻水在反應器系統內移動的過程中，有可能沈積於設備或零組件的表面，造成設備或零組件的污染。這些沈積於設備或零組件表面的放射性腐蝕產物亦會污染電廠維修人員的衣物、手套、及工具。電廠廢棄的零組件，受污染的衣物、手套、工具等即成為乾性低階放射性廢料。

　　反應器在運轉過程中，反應器冷卻水經爐心照射後形成活化氣體，即成為氣體廢料。另外，低階放射性廢料焚化或熔融處理時亦會產生氣態之放射性廢料。 

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　　除了活化之放射性腐蝕產物會造成污染外，另一類會造成污染的放射性物質是自護套破裂之燃料棒釋出之分裂產物。

　　核能電廠使用過的燃料中，尚有許多可以用來發電的鈾-235及鈽-239。為了利用這些物質，須利用化工程序將鈾-235及鈽-239與無用的分裂產物分離，這就是所謂的核燃料再處理。燃料再處理過程中會產生具高輻射強度的廢棄物，即所謂的高階放射性廢料。由於我國並無核燃料再處理設施亦沒有委託國外進行核燃料再處理，因此國內並沒有高階放射性廢料。

　　我國目前雖然決定暫時不處理使用過的核燃料。但使用過的核燃料中具有相當高的輻射，必須妥善處理。嚴格說起來，使用過的核燃料中尚有許多可用的物質，所以並不是廢物。