依照目前台灣電力公司之規劃，只要一平方公里左右的處理場面積，即可容納我國現階段與未來所產生的低階廢料。我國原子能委員會放射性物料管理局為放射性廢料主管機關，訂有低放射性廢料陸地最終處置管制規範，規範中明訂低放射性廢料陸地最終處置場場址選擇之條件，選擇的條件包括場址應位於低人口密度及低開發潛力之地區：

•	場址應避免位於地質構造作用足以影響 處置設施安全之地區
•	場址應避免位於地表地質作用足以影響 處置設施安全之地區
•	場址應避免位於地表水文條件可能危及 處置設施之地區
•	場址應避免位於地下水文條件可能危及 處置設施之地區
•	場址應避免位於已知地質或水文條件複 雜，無法確實評估之地區；
•	場址應避免位於有已知重要天然資源及 其相關之地區；
•	場址應避免位於已知之生態保護區；
•	場址應避免位於已知之史蹟保存區。

　　低放射性廢料最終處置之最高目標，係將低放射性廢料永久隔離於人類生活環境，為確保人類生活安全與環境品質及處置場設施安全與隔離功能，有必要訂定處置場場址選擇之條件。 

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國外廢料最終處置場實例：
☉美國邦威爾(Barnwell)低放射性廢料最終處置場 
　　美國邦威爾低放射性廢料最終處置場位於南卡羅萊州哥倫比亞市近郊，1971年開始運轉，係以淺地掩埋方式進行處置。 

　　處置溝制式規格為1,000呎長、100呎寬、22呎深(約305公尺長、30.5公尺寬、6.7公尺深)。處置溝開挖完成後，再將溝內土壤表層約3呎厚之砂層挖除，並代之以黏土類材質。處置溝之地面設計成向其中一端斜1度，並設置有集水井，以便收集並量測水分。 

　　當廢料桶在處置溝內放置定位後，以3呎厚之砂層覆蓋其上，並填滿其間之空隙。處置溝全部填滿後，其上方再覆蓋2呎之覆蓋材質，並以振動壓土機壓實，使其壓密達到原有體積之90%。約一年後，其上再覆蓋1呎之表土，並種植草皮，以降低土壤因沖蝕而流失之機會。當全部完成後，處置溝上方之輻射劑量率與南卡羅萊州任何城市之街道背景值相同。 

　

日本六個所村低放射性廢料最終處置場實景

　　第一階段容量為40,000立方公尺(約為200,000桶)。處置設施規劃為40個處置坑(pit)，每一個處置坑為24公尺長、24公尺寬、6公尺深，劃分為16個處置槽，每一個處置槽分為8層，每層8列、5行，可容納320桶廢料桶(每桶55加侖)，每一處置坑可容納5,120桶。目前每年約接收20,000桶，預估2012年告一段落。 

　　第二階段規劃為16個處置坑，處置坑尺寸較第一階段大，每一個處置坑為36公尺長、37公尺寬、7公尺深，劃分為36個處置槽，每個處置槽分為9層，每層8列、5行，可容納360桶廢料桶，每個處置坑可容納12,960桶廢料桶。第二階段仍以處置200,000桶廢料桶為目標，預訂西元2000年開始營運。當最終階段完成後，六個所村處置場之處置容量將可達60萬立方公尺，約為300萬桶。 

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☉法國Centre de l’Aube低放射性廢料最終處置場 
　　法國Centre de l’Aube低放射性廢料最終處置場位於巴黎東方約200公里之一片森林中，處置場的高度為海拔160公尺，其周圍20公里半徑內有天然泉、水庫及古蹟等。處置場地質結構優良，由一層透水砂層覆蓋在不透水黏土層之上，再加上處置場之自然斜波，使得滲透水流向唯一出口Noues d’Amance小溪。

　　該處置場從1981年開始計劃執行到1992年正式啟用約花了11年，共投資50億新台幣。處置場擁有100萬立方公尺容量，處置方式為地上混凝土處置窖，處置區採模組式，每一模組約為2,200立方公尺容量，廢料桶可疊5層，每一層疊滿後灌以水泥漿，固定後再疊第二層。當模組運作時，上面有活動式的遮雨蓬以防雨水，當5層疊滿後，該模組即以水泥漿封閉，外面塗上防水漆、柏油、砂、黏土及最外層覆蓋6公尺厚之表面土壤，上面種植花草與矮灌木，這種結構亦為多重障壁的概念。模組下方(地下)有良好的集水管路、設施與維護用通道，可收集微量滲透過模組之雨水，並加以偵測、分析、處理與排放。另外，有一座30,000立方公尺防洪池，配以每天50立方公尺之生物處理法來調節排水量與消防用水。 

　　處置場區內及四周範圍內，設置許多地下水、河水、空氣、動植物與水中生物的污染偵測設施。